Optimasi Parameter Spin Coating Untuk Deposisi Lapisan Tipis Molibdenum Disulfida

Abstract

Abstrak
Tugas akhir ini mempelajari tentang lapisan MoS2 yang dideposisi di atas substrat PET, ITO/PET
dan SiO2 dengan menggunakan dua metode yaitu drop casting dan spin coating. Untuk mendapatkan
lapisan MoS2 yang tipis dan merata maka perlu dilakukan optimasi parameter spin coating yang baik. Pada
penelitian ini, kecepatan putar dan lama waktu putar (pick dwell) divariasikan untuk mengoptimasi sebaran
lapisan yang dapat mempengaruhi sifat optik dan listrik. Lapisan MoS2 yang dideposisi dengan
menggunakan cara spin coating menghasilkan lapisan yang lebih tipis dibandingkan dengan cara drop
casting. Untuk deposisi dengan spin coating sebaran MoS2/PET terlihat lebih banyak celah dibandingkan
dengan sebaran lapisan MoS2/ITO/PET dan MoS2/SiO2. Lapisan MoS2/PET menghasilkan ketebalan ratarata
sebesar
7
nm
sedangkan
lapisan
MoS2/ITO/PET
menghasilkan
ketebalan
rata-rata
sebesar
5
nm.
Jika

waktu
putar
lebih
singkat
maka
diperoleh
lapisan
yang
tebal.
Pada
saat
kecepatan
putar
meningkat
maka

lapisan
MoS2
yang
dihasilkan
lebih
tipis.
Pengukuran
sifat
listrik
dilakukan
dengan
cara
mengamati
kurva

karakteristik

I-V lapisan MoS2 pada substrat. Proses deposisi tidak terlalu mempengaruhi sifat listrik
dibandingkan dengan jenis substrat yang digunakan.
Kata kunci : MoS2, PET, ITO/PET, SiO2, drop casting, spin coating.

Kata Kunci: MoS2, PET, ITO/PET, SiO2, drop casting, spin coating

This final project studies the MoS2 layer deposited on PET, ITO / PET and SiO2 substrates using two
methods, namely drop casting and spin coating. To get a thin and evenly distributed MoS2 layer, a good spin
coating parameter optimization is needed. In this experiment, the rotating speed and pick dwell were varied in
order to optimize the layer distribution. Which might affect optical and electrical properties. The deposited MoS2
layer using spin coating results in a thinner layer thickness than the drop casting method. The distribution of
MoS2 / PET has more gaps between two layers compared to the distribution of MoS2 / ITO / PET and MoS2 /
SiO2 layers. The average thickness of the MoS2 / PET layer & MoS2/ITO layers are 7 nm and 5 nm, respectively.
The shorter the pick dwell, the thicker the layer. The thickness decreases with the increasing of the spin coating
rotating speed. Electrical characteristic measurement was being done by observing I-V characteristic curve of
MoS2 layer on each substrates. Deposition methods do not influence significantly the electrical properties
which are more dependent on substrat types.
Keywords : MoS2, PET, ITO/PET, SiO2, drop casting, spin coating.