Optimasi Parameter Spin Coating Untuk Deposisi Lapisan Tipis Molibdenum Disulfida

Abstrak

Abstrak Tugas akhir ini mempelajari tentang lapisan MoS2 yang dideposisi di atas substrat PET, ITO/PET dan SiO2 dengan menggunakan dua metode yaitu drop casting dan spin coating. Untuk mendapatkan lapisan MoS2 yang tipis dan merata maka perlu dilakukan optimasi parameter spin coating yang baik. Pada penelitian ini, kecepatan putar dan lama waktu putar (pick dwell) divariasikan untuk mengoptimasi sebaran lapisan yang dapat mempengaruhi sifat optik dan listrik. Lapisan MoS2 yang dideposisi dengan menggunakan cara spin coating menghasilkan lapisan yang lebih tipis dibandingkan dengan cara drop casting. Untuk deposisi dengan spin coating sebaran MoS2/PET terlihat lebih banyak celah dibandingkan dengan sebaran lapisan MoS2/ITO/PET dan MoS2/SiO2. Lapisan MoS2/PET menghasilkan ketebalan ratarata sebesar 7 nm sedangkan lapisan MoS2/ITO/PET menghasilkan ketebalan rata-rata sebesar 5 nm. Jika

waktu putar lebih singkat maka diperoleh lapisan yang tebal. Pada saat kecepatan putar meningkat maka

lapisan MoS2 yang dihasilkan lebih tipis. Pengukuran sifat listrik dilakukan dengan cara mengamati kurva

karakteristik

I-V lapisan MoS2 pada substrat. Proses deposisi tidak terlalu mempengaruhi sifat listrik dibandingkan dengan jenis substrat yang digunakan. Kata kunci : MoS2, PET, ITO/PET, SiO2, drop casting, spin coating. Kata Kunci: MoS2, PET, ITO/PET, SiO2, drop casting, spin coating This final project studies the MoS2 layer deposited on PET, ITO / PET and SiO2 substrates using two methods, namely drop casting and spin coating. To get a thin and evenly distributed MoS2 layer, a good spin coating parameter optimization is needed. In this experiment, the rotating speed and pick dwell were varied in order to optimize the layer distribution. Which might affect optical and electrical properties. The deposited MoS2 layer using spin coating results in a thinner layer thickness than the drop casting method. The distribution of MoS2 / PET has more gaps between two layers compared to the distribution of MoS2 / ITO / PET and MoS2 / SiO2 layers. The average thickness of the MoS2 / PET layer & MoS2/ITO layers are 7 nm and 5 nm, respectively. The shorter the pick dwell, the thicker the layer. The thickness decreases with the increasing of the spin coating rotating speed. Electrical characteristic measurement was being done by observing I-V characteristic curve of MoS2 layer on each substrates. Deposition methods do not influence significantly the electrical properties which are more dependent on substrat types. Keywords : MoS2, PET, ITO/PET, SiO2, drop casting, spin coating.